超声场的空化作用与清洗液的化学作用。光学零件的表面污染包括：

空气中集聚的灰尘
，由于静电吸附而不易除去
，更多的是固体粒子被油膜粘附在表面上，粒子与油膜可能为有机物质

，也可能为无机物质；有时零件表面还出现由于局部发热而形成的炭化膜层；有时零件还出现氧化膜层
。

将污染的光学零件放入超声波清洗液中
，液体中的超声振动，交变的压强产生交变的压缩与疏松振动运动，即空化现象。

清洗效应有三种：

1.强超声波对污染表面的直接效应是通过将动量由运动液体直接转移给污垢介质粒子
，使粒子产生振动，附着力不强的粒子脱离表面
，这是超声波空化现象的清洗效应之一
。

2.污染的微粒作为空化现象的核粒而促使空化中心的形成，压强迅速变化而产生充满气体或蒸汽的空穴，而这些空穴的

3.最终崩溃而产生了强烈的冲击波，其压强增大了几个数量级，能使污染表面上固体粒子破裂而分离，这是空化现象的清洗效应之二
。

4.粘附于零件表面的油膜能在超声波空化现象的作用下微细地扩散于液体中，形成乳浊液，这是空化现象的清洗效应之三。

至于清洗液溶解污染介质的能力显然也起着重要的作用。在实际清洗过程中
，几种清洗效应是同时发生、交错进行的。为了提高清洗质量，必须合理选择超声波的功率和频率
、清洗剂种类
、液温及清洗机的工作过程。